技术分析-触控面板上游材料-ITO导电玻璃技术发展概况
摘要
ITO (Indium Tin Oxide,氧化铟锡)薄膜是于1969年由日本大阪工业技术研究所的胜部氏开发出来。ITO薄膜在可见光的范围内具有高透光度、低阻抗及导电性佳的优点,而且因其产品特性可以高速传输讯号、容易patterning加工,在蚀刻的制程中易于操作并蚀刻成任何所需之电极型态,与其他制程材料有良好的匹配性及耐用性,可以制作成大面积且材质均一的产品,成膜后不需再经过加工及烘烤制程,因此可以大量的节省时间与成本,并可广泛应用。